氮泵又称低温泵，是一种常用的真空泵，其工作原理基于液体氮的低温沸腾通过相变产生气体，以达到制造高真空或超高真空的目的。
该技术主要用于半导体制造工业中，其应用领域包括：紫外线光刻技术、退火和空间等离子体技术等。用氮泵可将空气泵中残存的水蒸气和氧、氮分子抽取出来，从而得到较高的真空度。相比其他的真空泵，氮泵的真空度较高，能够达到10的负10次方毫巴(Pa)以下的高真空度。此外，氮泵的摩擦很小，不易产生二次污染。
氮泵作为一种比较常用的真空泵，在半导体制造、涂层技术、电镀和真空蒸镀方面都有广泛的应用前景。
